1. Метод цветных точек: равномерно нанесите порошок свинцового сурика на измеряемую поверхность. После потирания об обычную тарелку появятся светлые пятна. В пределах площади 25×25 мм, если пятна распределены равномерно и многочисленны (например, больше или равно 20 точкам), плоскостность является приемлемой. Этот метод подходит для быстрого грубого измерения, но имеет меньшую точность.
2. Метод оптической плоской интерференции: нажмите на оптический плоский (плоскость)<0.1λ) onto the surface to be measured to form an air wedge interference cavity. If straight, uniform interference fringes appear under monochromatic light, the flatness is good; if the fringes are curved, the error needs to be calculated:
Кольцевая полоса: значение ошибки=количество полос × λ/2 (λ — длина волны света).
Прямая полоса: значение ошибки=кривизны × расстояние между полосами/2.
Этот метод обеспечивает точность-нанометрового уровня и подходит для проверки небольших-плоских поверхностей.
3. Индикаторный метод: используя стандартную пластину в качестве эталона, измерьте поверхность по точкам с помощью микрометра. Если для настройки используется трехточечный метод-, то разница между максимальным и минимальным показаниями является значением погрешности; метод минимальной зоны требует математического расчета. Он обеспечивает высокую точность, но сложен в эксплуатации.
4. Метод коллиматора/уровня: измерения проводятся в точках, расположенных в сетке, и регистрируется отклонение каждой точки относительно эталона. Ошибка плоскостности рассчитывается с использованием метода наименьших квадратов или метода минимальной ограничивающей зоны. Подходит для проверки больших-площадей, но требует стабильной среды.
